螺杆真空泵抽气速率稳定,从低真空到高真空区间均能保持高效,无明显衰减。
极限真空度高,满足高精度场景需求。
排气连续无脉动,减少系统压力波动,提升工艺稳定性。
可抽送少量水蒸气、轻微粉尘的气体,对杂质耐受性优于旋片泵、滑阀泵。
无油型螺杆真空泵能实现无油真空,避免油液污染,适配半导体、食品、医药等洁净场景。
耐温、耐压性能较好,能适应连续长时间运行,不易因工况波动停机。
结构紧凑,运行噪音低、振动小,工作环境更友好。
易损件少(主要为轴承、密封件),故障率低于往复式、旋片式真空泵。
维护周期长,润滑油更换频率低,日常只需监控参数、清洁过滤件,运维成本低。
电机负载均匀,能耗比优,长期运行下电费成本低于同等抽速的其他真空泵。
无油型号无油雾排放,有油型号密封良好,对环境污染小,符合环保要求。