螺杆真空泵是一种容积式干式真空泵（无油），其核心优势在于清洁、高效、可靠，特别适用于对工艺洁净度、可靠性和环保要求高的现代工业领域。

1、真正的“干式”与洁净

无油无污染：泵腔内无油、无水等密封介质，气体与泵腔直接接触，确保被抽气体不受污染，同时泵也不会被工艺气体中的可凝性蒸汽（如溶剂、水汽）污染。这是其相比油封旋片泵、水环泵等最根本的优势。

适用性广：可安全抽取含大量可凝性蒸汽、粉尘、微小颗粒或腐蚀性成分的复杂工艺气体，非常适合化工、制药、半导体等“脏”或“敏感”的工艺流程

2、高性能运转

抽速稳定，真空度高：在较宽的压强范围内（从大气压到中高真空，通常可达0.1 hPa量级）能保持稳定的抽速和较高的容积效率。极限真空度优于水环泵，接近或达到某些油泵水平。

能耗相对较低：等抽速下，其压缩效率高，尤其在持续运行的工况下，综合能耗通常低于需要持续供水或油处理的水环泵、油泵。

气体温度范围宽：可处理入口温度较高的气体（配合冷却系统），部分型号出口气体温度可达100℃以上。

3、可靠性与低维护

坚固耐用的结构：核心部件通常为两根精密的、非接触式啮合的螺杆转子。螺杆之间及螺杆与泵腔之间留有极小间隙，无金属摩擦，磨损极小。

长寿命与低维护：螺杆真空泵主要维护是定期更换轴承和密封（通常数千至上万小时），无需处理废油、废水，省去了油过滤、油更换、水处理等复杂维护和成本。

对恶劣工况适应性强：轻微吸入液体或少量颗粒通常不会导致泵的立即损坏（相比罗茨泵等更耐受）